Tiroirs de soupapes à fente
PPE propose un éventail de profils qui maximisent l'intégrité de l'étanchéité et l'espérance de vie des tiroirs de soupapes à fente, collés et non collés, garnis de joints Perlast®.
Les tiroirs Perlast® maximisent le rendement de plaquettes et les cycles de maintenance programmée en utilisant des perfluoroélastomères translucides ultra-purs. Ils n'utilisent pas de systèmes de mastic inorganiques (ex. oxydes de métal et silices) pouvant causer des problèmes de particulation dans les applications à porte dynamique.
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Tiroirs de soupapes à fente réalisés selon vos spécifications Des joints toriques moulés sur mesure, qui suivent le cheminement d'une gorge rectangulaire, et prolongent considérablement la durée de vie des joints en réduisant les niveaux de contraintes imposées aux joints torique dans les angles. PPE peut vous aider à optimiser l'étude de la gorge pour des joints à tore circulaire. PPE peut également vous proposer des solutions adaptées à votre matériel existant. Pour les nouvelles applications, les ingénieurs PPE peuvent vous conseiller sur les meilleurs moyens d'actionner et de contrôler le tiroir, afin de prévenir les fuites et de maximiser la durée de vie utile du joint. Des joints de plus grandes dimensions, pour le matériel de fabrication d'écrans plats et de panneaux solaires, sont disponibles sous forme de pièces entièrement moulées. |
MONOVAT® est une marque déposée de VAT Vakuumventile AG. Un important fabricant de semi-conducteurs en Asie était confronté à des problèmes de contamination et de mauvais rendement de plaquettes avec un processus CVD à diélectrique Low-K sur un outil Producer®. Les soupapes MONOVAT® dynamiques étaient dotées de FFKM blanc traditionnel et devaient être remplacées toutes les 15 000 à 30 000 plaquettes. Depuis que les tiroirs MONOVAT® sont garnis de joints G67P Perlast®, ce producteur de puces réalise plus de 90 000 plaquettes ; une amélioration qui représente une économie considérable. Ce résultat est dû à la composition ultra-pure, à la résistance chimique supérieure et aux propriétés mécaniques exceptionnelles des matériaux® Perlast. MONOVAT® est une marque déposée de VAT Vakuumventile AG. |
